鸑鷟YuèZhuó(极紫外EUV激光系统)-高次谐波(HHG)光源-合肥皓宇芯光科技有限公司-皓宇芯光

鸑鷟YuèZhuó(极紫外EUV激光系统)

鸑鷟是一款基于高次谐波(HHG)技术的小型极紫外(EUV)激光光源系统,专为科研与工业应用设计。该系统可产生并输出高功率、10-100 nm波长范围的窄谱线EUV激光(梳齿状光谱)，系统采用紧凑型设计，整体尺寸仅为885 mmx420mmx233 mm。输出脉冲宽度小于50 fs,单个谐波的相对谱线宽度Δλ/λ＜1%,同时具备超高时间分辨率和光谱分辨率,满足高精密光谱学实验需求。系统配置灵活,兼容多种飞秒激光器与压缩器。针对特殊飞秒激光器提供定制化解决方案,精准满足用户对光子能量与通量的多样化需求。作为一款高效、可靠且稳定的先进EUV激光光源工具,为前沿科学研究和工业应用提供了强有力的技术支持。

外观尺寸图

主要特性

·输出波长覆盖极紫外(EUV)波段(10-100 nm)·输出激光波长可单色化,且可在该光谱范围内灵活调谐

·高频率转换效率:从基频红外到EUV波段·低气体消耗:仅为国外同类产品的十分之一，大幅减少运行成本 ·光、机、电、软件高度集成,实现工程化设计,操作简易性能稳定,低维护度

·可配置高效率全自动控制的可扩展EUV束线系统，光源输出直达用户应用 ·可扩展EUV束线系统配备先进光束指向控制、聚焦和稳定系统。支持全电脑自动调节和控制

技术参数

型号 Model	鸑鷟
波长Wavelength	10-100 nm
输出功率 Output Power	1 uw-10 mw
脉冲宽度 Pulse Width	<50 fs
重复频率 Repetition Rate	1 Khz-1 Mhz
尺寸Dimensions	885 mm X 420 mm X 233 mm
重量 Weieht	55 kg

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