1.1 短波长光学器件设计

皓宇芯光针对1-400nm波段（含DUV/VUV/EUV/SXR）的光学器件拥有丰富的研发经验和系统解决方案，围绕短波长特殊光学性质开发了系列光学元件产品和独家镀膜设计，包括且不限于：DUV/VUV/EUV/SXR带通滤光片；DUV/VUV/EUV/SXR截止滤光片；高效率窄带宽DUV/VUV/EUV/SXR反射镜；高效率宽带DUV/VUV/EUV反射镜；IR/Vis-DUV/VUV/EUV/SXR二向色镜；DUV/VUV/EUV/SXR高衍射效率光栅等。需要特别指出的是，除平面光学镜外，对特殊成像要求和聚焦/发散要求的各类曲面镜(球面/抛物面/双曲面/椭球面/超环面等)，也一应俱全。

（短波长萤石光学元件示意图）

（针对EUV的窄带多层膜反射镜）

1.2短波长高效率传输束线

基于针对1-400nm波段（含DUV/VUV/EUV/SXR）设计的系列光学器件，皓宇芯光可以提供短波长高效率传输束线的全套解决方案，纾解用户的实验搭建和光路调试负担。在1-400nm波段（含DUV/VUV/EUV/SXR），皓宇芯光设计并推出多自由度可调的的分束/合束模块，以及波长灵活可调可选的短波长单色化模块，原位实时光谱测量模块，同时用户可在模块中实现光束发散角的控制，以及个性化定制泵浦-探测光路。

1.3 平场光谱仪

UltraField-平场光谱仪，基于高效率长焦变线距和宽平场光栅设计，三块共焦光栅覆盖1-350nm波段，实现软X射线至深紫外的高分辨光谱测量。系统带有自校准功能和光栅拓展能力，满足短波光源研发、光源标定、EUV/VUV光学器件测试和标定、半导体制造和材料分析等需求。

（1-350nm平场光谱仪）

1.4 分光光度计

皓宇芯光聚焦短波长的高精密单色仪和分光光度测试系统，从光学特性出发将系统分为两类——

VUV分光光度计系统，采用高稳定氘灯光源模块，基于VUV单色仪模块进行超精密波长控制，可实现最高0.05nm精度的120-300nm单色光输出。支持样品透射率和多角度反射率测量，集成的光学模型用于薄膜的厚度、折射率、消光系数测量。系统支持材料科学、光学元件制造、半导体制造等领域的分析与优化。

EUV分光光度计，基于CT型光路EUV单色仪，采用非球面光学和特殊衍射设计，实现良好的像差矫正、超高衍射效率和高分辨率的波长扫描，可扩展为EUV透射/反射分光光度计。支持原子物理和表面科学研究、材料和薄膜表征、先进半导体关键光学器件性能测试等。

（短波长分光光度计）