1.1多真空梯度复杂系统设计与制造
多真空梯度复杂系统包含多个不同真空度腔室，各腔室之间通过毛细管和直径不同的小孔实现差分，不同腔室搭配抽气速率不同的真空泵组，可实现8~9个数量级的真空过渡。该系统实现了从大气压到高真空的过渡，在半导体制造、空间模拟、材料科学和高端科研设备中广泛应用。
1.2真空内电控-光学实现
真空内电控光学系统是将光学元件、电控机构和真空件集成在真空环境内实现精确光学调控的技术方案，压电陶瓷驱动，电容式位置传感，可实现纳米级位移精度。可远程操控，高度集成、个性化控制界面可根据客户需求定制。
1.3高精密小型化（紧凑型）跨真空调节系统
高精密小型化（紧凑型）跨真空调节系统是一种集成磁流体密封、光学微调螺纹副、三轴可调的微型化调节装置，实现真空内外动力传递，真空度达到1x10-6Pa，手动调节精度1μm，专为需要极高精度和空间受限的应用场景设计。
（多层级真空EUV束线调试中）
