1.1 绝对功率计

基于大靶面高灵敏度的光电二极管，皓宇芯光设计生产了一款短波长绝对功率计，覆盖1-1100nm波段，尤其补足业内在1-250nm段的空白，可满足用户在高真空环境下原位测量激光功率的需求。通过标准化设计，此功率计可匹配常规真空接口，接入束线任意位置，通过旋钮调整是否测量，非测量状态对原光路无干涉。

（绝对功率计）

1.2 专用化软件集成（光谱测量/标定，智能光斑优化，智能单色化波长选择，自动化气体-光场调控）

为满足光学用户的行业需求，皓宇芯光开发了一系列专用软件，实现了EUV光谱的测量与输出，HHG光斑的单色化、波长标定与可视化分析，EUV功率计的长期记录与实时统计分析以及气路光路协同控制等功能。以上软件除标准版外，均可提供定制化服务，以满足用户特定需求。

（EUV光斑的单色化、波长标定与可视化分析）

1.3 高精度光束指向稳定系统

基于高分辨率相机或四象限传感器并结合毫秒级压电陶瓷电控镜架，本系统可在0.1s内对光束漂移予以补偿，确保光束指向稳定。选用相机时，本系统可提供实时光斑图像显示功能。除双电控镜架标准款外，本系统可根据用户需求提供单镜或三镜产品。

（高精度光束指向稳定系统示意图）

1.4 配合用户科研装置，个性化光源定制

皓宇芯光专注于为科研领域提供专业级定制化光源解决方案。可为用户定制开发各类特殊规格的激光光源及配套光学组件，涵盖从软X射线到红外波段的多种应用需求。通过精密的光学设计与严格的系统集成，确保定制光源与实验装置实现最优匹配，满足复杂科研场景下的精准实验要求。

短波扩束，采用非球面光学设计和特殊镀膜设计，实现EUV/VUV波段的高光束质量、高均匀度、高传输效率的光束扩束。支持先进光刻照明、先进半导体检测光场控制、同步辐射束线光束控制等各种短波光场的控制。

激光去相干，通过扫描和波前随机混合等方式破坏激光相干性，使其失去部分或完全失去干涉能力。该技术是抑制激光散斑噪声、抑制特定干涉噪声和消除特定应用干涉条纹的核心技术。

（个性化光源定制示意图）