阿秒科学与高次谐波光源（HHG）
阿秒（attosecond，10⁻¹⁸s）是描述电子运动的自然时间尺度。在原子与分子内部，电子隧穿、电荷迁移与轨道重排等过程通常发生在几十至几百阿秒范围内。阿秒脉冲光源的出现，使得这些电子过程首次可以被时间分辨地直接观测，标志着超快科学从“原子核运动尺度”进入“电子运动尺度”。自 2001 年首次测得阿秒
分享|多波长EUV显微技术助力掩膜基底缺陷检测
在半导体领域，随着进入14nm以下先进制程节点，尤其是极紫外（EUV）光刻技术推出后，光刻领域对掩模缺陷检测提出了极高要求。掩模上的微小缺陷直接影响芯片制造的良率，成为良品率提升的最大难题之一。
