专注先进激光应用技术
推动行业进步和创新
全波段光谱:覆盖软X射线(SXR)、极紫外(EUV)和真空紫外 (VUV);采用长焦变线距凹面光栅;全波段实现高分辨率平场光谱测量;可实现在线检测功能;兼容:激光等离子体(LPP)、放电等离子体(DPP)、高次谐波(HHG),自由电子激光(FEL),同步辐射等各类短波光源;是前沿科研及先进制造领域必备的精准、高效、多功能、全波段光谱分析解决方案。
名称 Name | Ultra Field-平场光谱仪 |
出射焦距 Exit Focal Lengthh | 235 mm |
| 焦平面宽度 Focal Plane Width | >22 mm(可根据需求定制) |
| 狭缝 Siltwidth | 0 - 0.3 mm连续可调 |
| 光栅尺寸 Grating Size | 50 mm x 30 mm |
| 真空度 Vacuum Compatible | Best afford 10-4 Pa |
| 可在线切换光棚数 Number ofSwitchable Gratings | 3（最大可拓展至6块） |
| 光谱覆盖范围 Wavelength Range | 1-140 nm / 5-350 nm(可根据需求定制) |
| 系统尺寸System Size | ≤660 mm x 320 mm x 400 mm |
