极紫外光源-成像光谱仪一体机

包含驱动飞秒激光器、极紫外发生器(HHG组件)、极紫外分束器、极紫外单色仪、极紫外光谱仪以及极紫外成像仪/干涉光刻仪。能实现从高次谐波产生到单色谐波成像/干涉光刻的全部应用功能。

主要特性

效果好，设备小型化

HHG光源具有紧凑的占地面积。HIST在实验室空间大小即可搭建出一套设备，更加适合产品化

波长短，精度高

EUV技术的波长比DUV技术更短，有助于实现更高的分辨率。深紫外一般波长在100nm的光源以上，而极紫外技术使用波长为13.5nm的光源

基于相干性，无需透镜

相干性使得无透镜成像技术成为可能。例如相干衍射成像、叠层照相技术和全息技术，可在EUV波长下提供空间分辨率，实现无损检测评估

技术参数

技术路径	光源性质	波长	功率	最高重频率	代表性用途	下游应用代表性公司
加速电子束	大型科学装置，激光，自由电子激光器，改变波长须变换曲率半径或电子束流速度	0.1nm-100nm	1mW-1W	100 kHz	科研	欧洲XFEL 美国LCLS
放电等离子体	非相干光，技术难度多元、造价昂贵，放电等离子体	13.5nm	100-500 W	50-100 kHz	光刻	ASML(Cymer)
非线性光学（公司）	全光谱激光，体积小造价低，准连续梳状超宽光谱	10nm – 100nm	0.1 mW-1mW	10-100 kHz	缺陷检测，显微镜等，激光直写光刻、光刻胶研发等	Intel ASML TSMC Samsung

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