极紫外单色仪及束线

极紫外单色仪可将高次谐波输出的梳状光谱进行单色化以得到单一的谐波，通过灵活的光学反射模组将单色束线与多色束线进行空间分束，可以满足多种波长需求的分束和滤除功能，单色束和多色束均能独立进行实验。

主要特性

效果好，设备小型化

HHG光源具有紧凑的占地面积。HIST在实验室空间大小即可搭建出一套设备，更加适合产品化

波长短，精度高

EUV技术的波长比DUV技术更短，有助于实现更高的分辨率。深紫外一般波长在100nm的光源以上，而极紫外技术使用波长为13.5nm的光源

基于相干性，无需透镜

相干性使得无透镜成像技术成为可能。例如相干衍射成像、叠层照相技术和全息技术，可在EUV波长下提供空间分辨率，实现无损检测评估

技术参数

技术路径	光源性质	波长	功率	最高重频率	代表性用途	下游应用代表性公司
加速电子束	大型科学装置，激光，自由电子激光器，改变波长须变换曲率半径或电子束流速度	0.1nm-100nm	1mW-1W	100 kHz	科研	欧洲XFEL 美国LCLS
放电等离子体	非相干光，技术难度多元、造价昂贵，放电等离子体	13.5nm	100-500 W	50-100 kHz	光刻	ASML(Cymer)
非线性光学（公司）	全光谱激光，体积小造价低，准连续梳状超宽光谱	10nm – 100nm	0.1 mW-1mW	10-100 kHz	缺陷检测，显微镜等，激光直写光刻、光刻胶研发等	Intel ASML TSMC Samsung

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