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HHG极紫外光源激光器半导体检测

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极紫外成像仪

①极紫外成像仪：前置极紫外光谱仪可挑选极紫外波长，具有大空间的真空腔体，内设多个电动真空镜架、以及自由度可选的多轴样品台，并配置靶面可选的宽光谱响应极紫外相机，满足样品单色/多色可见光到极紫外光的成像及摄谱需求。 ②干涉光刻仪：具有大空间的真空腔体，内设干涉参数可调的高自动化干涉模组，满足可见光到极紫外光的干涉光刻需求，并可选配成像相机进行辅助测量。

极紫外单色仪及束线

极紫外单色仪可将高次谐波输出的梳状光谱进行单色化以得到单一的谐波，通过灵活的光学反射模组将单色束线与多色束线进行空间分束，可以满足多种波长需求的分束和滤除功能，单色束和多色束均能独立进行实验。

极紫外发生器(HHG组件)

高度紧凑的、具有自动激光锁定、激光耦合功能的高次谐波发生单元，兼容多种气体的0-1atm压力任意调节的气室设计，在稳定性、重复性上取得重大进步，同时在混气和气体切换方面操作简单，可靠性极佳。

极紫外光源-成像光谱仪一体机

包含驱动飞秒激光器、极紫外发生器(HHG组件)、极紫外分束器、极紫外单色仪、极紫外光谱仪以及极紫外成像仪/干涉光刻仪。能实现从高次谐波产生到单色谐波成像/干涉光刻的全部应用功能。

极紫外光源-光谱仪一体机

包含驱动飞秒激光器、极紫外发生器(HHG组件)、极紫外分束器、极紫外单色仪以及极紫外光谱仪。能实现从高次谐波产生到单色/多色谐波选择的功能，能输出指定波长的飞秒/阿秒脉冲，可与角分辨光电子能谱、原子分子光谱和交叉分子束等联用。

极紫外绝对功率计

使用经过标定的极紫外光电二极管测定入射束线的绝对功率，用于滤波前后的谐波功率测量，既可以测量单波长也可以测量多波长的绝对功率，同时可用于透过率和反射率的精准测定。

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