真空紫外（vuv）分光光度计

VUV分光光度计采用标准氘灯VUV光源,可在120-300nm波长范围内提供高稳定性单色光。系统集成高精度单色化光学系统与高分辨测量平台,支持透射、反射等光学性能测试,确保测量的精准性和重复性。凭借卓越的光谱分辨率与稳定的光源性能,该系统广泛应用于材料科学、半导体制造、生物医药等领域,可用于光学薄膜表征、半导体材料光学常数测量、生物分子光谱分析等关键研究,助力客户实现高效、精准、可靠的样品分析与工艺优化。

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UltraField-平场光谱仪

全波段光谱:覆盖软X射线(SXR)、极紫外(EUV)和真空紫外 (VUV);采用长焦变线距凹面光栅;全波段实现高分辨率平场光谱测量;可实现在线检测功能; 兼容:激光等离子体(LPP)、放电等离子体(DPP)、高次谐波(HHG),自由电子激光(FEL),同步辐射等各类短波光源;是前沿科研及先进制造领域必备的精准、高效、多功能、全波段光谱分析解决方案。

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光谱单色仪

一款集极紫外光谱实时观测和原位单色化自动选择的一体化仪器,适用波长范围9.5nm-80nm(可拓展至1-200nm),具备高光谱帶宽分辨率(λ/λ>100)和灵活的单色化波长输出功能。采用共焦光谱技术,衍射效率达30 %-78%,单色化总效率最高超40 %(如HHG13.5 nm定制版)。设备支持自动化操作,可实现光谱观测与单色选光一体化,适用于高次谐波、等离子体诊断及天文极紫外分析等领域,具有高信噪比和能量传输效率。

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功率计

一款小巧而功能强大的功率计,可通过原位旋转切换测量/通光状态,采用电流换算绝对功率的转换方式,探测器有效区域为10 mmx10 mm,覆盖0.04-1100 nm波段,适用于极紫外至近红外范围。其皮安级低暗电流(≤5 pA)和20 MΩ分流电阻,确保了20 pW极低功率的灵敏探测。设备响应速度快(10 μs上升时间),工作温度范围宽(-20°C至80'C),并兼容多种真空/气氛环境条件,适合测量绝对功率、标定光子通量及分析带通占比等应用。

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光束指向稳定系统

在精密光学应用中,温度漂移、应力释放等因素常导致光束低频扰动和光斑持续漂移。本系统通过高灵敏度相机实时感知光束扰动,结合智能控制算法,动态调节电控镜架的偏转,确保光束始终指向在预设的锁定方向。相较其他光束指向锁定产品,本方案采用相机而非四象限传感器,小像素优势使得指向锁定精度更高,光束锁定的同时还能实时观察光斑形态并检测光斑功率及其变化情况。

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脉冲压缩器

皓宇自主研发了光纤脉冲压缩器和多通道压缩器MPC,可根据客户需要提供定制服务。 1.光纤脉冲压缩器通过光谱展宽和啁啾压缩两步操作,有效压缩激光脉宽,输出稳定频谱。该设备兼容各类科研/工业飞秒激光器,支持任意重复率,可将飞秒激光脉冲压缩至少周期(fewcycle),显著提升激光性能。2.多通道压缩器MPC采用先进腔型设计和高品质飞秒光学器件,最大限度降低传输损耗,并内置自动监测系统,实时监控近/远场脉冲激光光斑质量,确保输出稳定性。此外,该压缩器具有广泛的兼容性,可适配所有科研/工业飞秒激光器及任意重复率的飞秒脉冲激光系统。

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驱动激光器

通过合作与定制的方式提供高重频高能量飞秒激光器。

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鸿鹄(SXR/AS)光源及可扩展束线系统

鸿鹄(SXR/AS)光源与束线系统无缝集成,支持灵活配置,能够生成1-10 nm范围的高精度光束控制与传输,支持窄谱线SXR/AS激光输出。束线系统配置灵活,可根据实际使用场景采用不同模块搭配,精准满足用户对光子能量与通量的需求,优化传输与控制性能,为用户提供高效且全面的支持,满足多样化应用需求。

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鸑鷟EUV光源及可扩展束线系统

鸑鷟EUV光源与束线系统无缝集成,提供10-100 nm波长范围的高精度光束控制和输出,支持窄谱线EUV激光输出。束线系统配置灵活,精准契合特定应用和研究目标,优化光子能量与通量的传输与控制,为用户提供全面且高效的支持,满足多样化应用需求。

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青鸾VUV光源及可扩展束线系统

青鸾VUV光源与束线系统无缝集成,提供100-200 nm波长范围的高精度光束控制和传输,支持窄谱线VUV激光输出。束线系统配置灵活,精准契合特定应用和研究目标,优化光子能量与通量的传输与控制,为用户提供全面且高效的支持,满足多样化应用需求。

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鸿鹄HóngHú(软X射线SXR/阿秒AS激光系统)

鸿鹄是一款基于高次谐波(HHG)技术的紧凑型桌面级激光光源系统,专为高精度科研与工业应用设计。该系统可生成1-10 nm波长范围的窄谱线软X射线激光及阿秒激光,具备卓越性能,适用于超快动力学研究等前沿领域。鸿鹄系统提供亚1 fs的阿秒脉冲宽度软X射线激光,为超快过程研究提供了极高的时间分辨率。系统采用紧凑型设计，整体尺寸仅为885mmx420mmx233mm。该系统兼容各类OPCPA系统,支持载波包络相位(CEP)稳定性调控,并可定制输出波段,精准满足不同科研与工业应用的高标准需求。作为一款高效、可靠的软X射线与阿秒激光解决方案,鸿鹄为前沿科学研究和工业应用提供了强有力的技术支持。

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鸑鷟YuèZhuó(极紫外EUV激光系统)

鸑鷟是一款基于高次谐波(HHG)技术的小型极紫外(EUV)激光光源系统,专为科研与工业应用设计。该系统可产生并输出高功率、10-100 nm波长范围的窄谱线EUV激光(梳齿状光谱),系统采用紧凑型设计,整体尺寸仅为885 mmx420 mmx233 mm。输出脉冲宽度小于50 fs,单个谐波的相对谱线宽度Δ入/λ<1%,同时具备超高时间分辨率和光谱分辨率,满足高精密光谱学实验需求。系统配置灵活,兼容多种飞秒激光器与压缩器。针对特殊飞秒激光器提供定制化解决方案,精准满足用户对光子能量与通量的多样化需求。作为一款高效、可靠且稳定的先进EUV激光光源工具,为前沿科学研究和工业应用提供了强有力的技术支持。

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青鸾Qing Luán(真空紫外VUV激光系统)

青鸾是一款基于高次谐波(HHG)技术的小型真空紫外(VUV)激光光源,专为科研与工业应用设计。该系统可产生100-200 nm波长的窄谱线、高功率VUV激光,具有卓越的光束质量和稳定性。系统采用紧凑型设计,整体尺寸仅为885 mmx420 mmx233 mm。此外,该系统配置灵活,可兼容多种飞秒激光器与压缩器,并针对特殊飞秒激光器提供定制化解决方案,精准满足用户对光子能量与通量的多样化需求。作为一款高效、可靠且稳定的先进VUV激光光源工具,青鸾为前沿科学研究和工业应用提供了强有力的支持。

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