真空紫外（vuv）分光光度计

VUV分光光度计采用标准氘灯VUV光源,可在120-300nm波长范围内提供高稳定性单色光。系统集成高精度单色化光学系统与高分辨测量平台,支持透射、反射等光学性能测试,确保测量的精准性和重复性。凭借卓越的光谱分辨率与稳定的光源性能,该系统广泛应用于材料科学、半导体制造、生物医药等领域,可用于光学薄膜表征、半导体材料光学常数测量、生物分子光谱分析等关键研究,助力客户实现高效、精准、可靠的样品分析与工艺优化。

主要特性

·提供120-300nm超宽波段光谱选择 ·偏振模块支持任意线偏振角度

·透射和反射测量方式，支持测量透过/吸收/反射 ·具有不同角度反射率测量能力

·测量准确性高，重复性好

技术参数

名称 Name	真空紫外（vuv）分光光度计
波长范围 Wavelength Range	120-300 nm
波长校准精度Wavelength Calibration Accuracy	0.1 nm
波长重复性 Wavelength Repeatability	0.05 nm
测量方式 Measurement Mode	透射或反射
真空度 Vacuum Compatible	10^-4-10^-5Pa(支持 Ar/Nz常压测试)
探测器可调角度 Detector Position	10°-180°
样品可调角度Sample Position	0-60°
单色化带宽 Monochromatic Bandwidth	0.5-5nm 可调节
精度 Precision, (RSD)(@157nm)	0.25%
精度 Precision,(RSD)(ALL)	0.5%
光束Measurement Beam	准直平行光束
偏振模块 Polarizer	任意角度线偏振可选
系统尺寸 System Size	≤1700mmx450 mmx260 mm

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