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高次谐波（HHG)光源光源及可扩展束线系统配套产品

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真空紫外（vuv）分光光度计

VUV分光光度计采用标准氘灯VUV光源,可在120-300nm波长范围内提供高稳定性单色光。系统集成高精度单色化光学系统与高分辨测量平台,支持透射、反射等光学性能测试,确保测量的精准性和重复性。凭借卓越的光谱分辨率与稳定的光源性能,该系统广泛应用于材料科学、半导体制造、生物医药等领域,可用于光学薄膜表征、半导体材料光学常数测量、生物分子光谱分析等关键研究,助力客户实现高效、精准、可靠的样品分析与工艺优化。

UltraField-平场光谱仪

全波段光谱:覆盖软X射线(SXR)、极紫外(EUV)和真空紫外 (VUV);采用长焦变线距凹面光栅;全波段实现高分辨率平场光谱测量;可实现在线检测功能; 兼容:激光等离子体(LPP)、放电等离子体(DPP)、高次谐波(HHG),自由电子激光(FEL),同步辐射等各类短波光源;是前沿科研及先进制造领域必备的精准、高效、多功能、全波段光谱分析解决方案。

光谱单色仪

一款集极紫外光谱实时观测和原位单色化自动选择的一体化仪器,适用波长范围9.5nm-80nm(可拓展至1-200nm),具备高光谱帶宽分辨率(λ/λ>100)和灵活的单色化波长输出功能。采用共焦光谱技术,衍射效率达30 %-78%,单色化总效率最高超40 %(如HHG13.5 nm定制版)。设备支持自动化操作,可实现光谱观测与单色选光一体化,适用于高次谐波、等离子体诊断及天文极紫外分析等领域,具有高信噪比和能量传输效率。

一款小巧而功能强大的功率计,可通过原位旋转切换测量/通光状态,采用电流换算绝对功率的转换方式,探测器有效区域为10 mmx10 mm,覆盖0.04-1100 nm波段,适用于极紫外至近红外范围。其皮安级低暗电流(≤5 pA)和20 MΩ分流电阻,确保了20 pW极低功率的灵敏探测。设备响应速度快(10 μs上升时间),工作温度范围宽(-20°C至80'C),并兼容多种真空/气氛环境条件,适合测量绝对功率、标定光子通量及分析带通占比等应用。

光束指向稳定系统

在精密光学应用中,温度漂移、应力释放等因素常导致光束低频扰动和光斑持续漂移。本系统通过高灵敏度相机实时感知光束扰动,结合智能控制算法,动态调节电控镜架的偏转,确保光束始终指向在预设的锁定方向。相较其他光束指向锁定产品,本方案采用相机而非四象限传感器,小像素优势使得指向锁定精度更高,光束锁定的同时还能实时观察光斑形态并检测光斑功率及其变化情况。

脉冲压缩器

皓宇自主研发了光纤脉冲压缩器和多通道压缩器MPC,可根据客户需要提供定制服务。 1.光纤脉冲压缩器通过光谱展宽和啁啾压缩两步操作,有效压缩激光脉宽,输出稳定频谱。该设备兼容各类科研/工业飞秒激光器,支持任意重复率,可将飞秒激光脉冲压缩至少周期(fewcycle),显著提升激光性能。2.多通道压缩器MPC采用先进腔型设计和高品质飞秒光学器件,最大限度降低传输损耗,并内置自动监测系统,实时监控近/远场脉冲激光光斑质量,确保输出稳定性。此外,该压缩器具有广泛的兼容性,可适配所有科研/工业飞秒激光器及任意重复率的飞秒脉冲激光系统。

驱动激光器

通过合作与定制的方式提供高重频高能量飞秒激光器。

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